Associant la connaissance des phénomènes physiques et chimiques à l'échelle nanométrique, à la robotique et à l'automatique, le pôle robotique sous vide offre un environnement unique pour la manipulation et l'assemblage de micro et nanosystèmes.
Compétences & savoir-faire
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Assemblage 3D de microsystèmes <10µm
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Fabrication de microsystèmes par origami
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Reconstruction visuelle 3D non destructive de micro/nano objets
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Caractérisation in situ par différents moyens de mesure (micro-pinces instrumentées, capteurs de force, interféromètre laser, mesure de faibles courants)
Équipements
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Microscope électronique à balayage ZEISS AURIGA 60, colonne GEMINI
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Faisceau d'ions ORSAY PHYSICS (FIB)
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Injecteur de gaz OXFORD INSTRUMENTS (CVD)
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Micro-manipulateur SMARACT 6 ddl
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Porte-échantillon ZEISS 5 ddl
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Microscope électronique à balayage FEI Quanta 450
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Micro-manipulateur KLEINDIEK 3 ddl
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Micro-pinces et capteurs de force FEMTO-TOOLS
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Interféromètre laser compatible vide
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Électromètre KEYSIGHT TECHNOLOGIES B2987A
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Métalliseur PVD LEICA EM 220 (or, platine)
Réalisations
Micro-maison de 10x20 µm réalisée par pliage et assemblage d’éléments découpés
dans une micro-membrane de silice de 0.7µm d'épaisseur.
Contacts
Jean-Yves Rauch jyves.rauch@femto-st.fr
Cédric Clévy cedric.clevy@femto-st.fr
Sounkalo Dembélé sounkalo.dembele@femto-st.fr