Station de micromanipulation et de microassemblage haute résolution
Descriptif de la station
Cette station permet de réaliser des observations de haute et très haute résolution sous vide secondaire. Elle est équipée d’un manipulateur Kliendieck qui fonctionne en boucle ouverte pour réaliser quelques tâches simples de robotique sous vide. Elle permet également de réaliser des études mécaniques, de la traction, et des assemblages de géométries simples. Elle est aussi équipée de deux injecteurs de gaz, et quatre gaz de soudure pour réaliser des soudures fines.
Taille des objets manipulables : 1-100µm
Environnement : vide secondaire ultra vide
Savoir-faire spécifique : Observation à très haute résolution

Composition de la station
- CROSSBEAM 350, source FEG, platine à 5 degrés de liberté (x, y, z, téta z, et alpha),
- Chambre de 35x35x40 cm,
- Un manipulateur Kleindieck, à 3 degrés de liberté, 2 rotations et 1 translation, est installé sur la platine ou sur une paroi,
- Les moyens de préparation des échantillons sont communs à ceux de la station de micromanipulation et de microassemblage sous vide.
Conditions d’utilisation : Quelques jours de formation avant utilisation en autonomie.
Responsables
Responsable scientifique : Sounkalo Dembélé
Responsable technique : Jean-Yves Rauch