Nom de l’équipement : ALCATEL 604
Utilisation : Synthèse de revêtement par dépôt physique en phase vapeur
Application : Le dispositif ALCATEL 604 est une machine de dépôt physique en phase vapeur équipées de 4 magnétrons de 50 mm de diamètre. Cette configuration permet la synthèse de matériaux complexe, sous forme de films minces, constitué de quatre éléments métalliques ainsi que de métalloïde apporté sous forme gazeuse pendant la phase d’élaboration. Il est possible d’augmenter le nombre d’élément dans un film par l’emploi de cible multiélément. Les matériaux développés dans ce réacteur sont dédiés à diverses applications tel que l’énergie, la thermoélectricité, catalyse, matériaux précieux (Or, Platine...).
Onglet : Élaboration
Nom et prénom du responsable : ARAB POUR YAZDI Mohammad / NEFFAA Khalid
Caractéristiques techniques : |
Applications : |
|
4 cibles magnétron de 50 mm de diamètre alimentés par des générateurs de courant continu pulsé, Porte échantillon polarisable en simple rotation, Porte échantillon chauffable jusqu’à 800°C, Zone homogène des films sur un disque de 15 cm de diamètre, Nom de l’outil : ALCATEL 604 Fabricant : ALCATEL Modèle : SCM 650 Salle : LM012 Hall Plateforme SURFACE UTBM Site de Montbéliard |
Films métalliques, Céramiques, Energie, Thermoélectricité |