Nom de l’équipement : Alcatel A603
Utilisation : Réalisation de dépôt physique en phase vapeur
Application : Le dispositif ALCATEL SCM603 est une machine de dépôt physique en phase vapeur équipées de 5 magnétrons de 150 mm de diamètre. Cette configuration permet la synthèse de matériaux multicouches, sous forme de films minces, constitué de trois éléments métalliques ainsi que de métalloïde apporté sous forme gazeuse pendant la phase d’élaboration. Les matériaux développés dans ce réacteur sont dédiés à diverses applications.
Machine dédiée à de la prestation industrielle / Dépôts métalliques (or ; cuivre ; aluminium ; chrome ; etc…) sur tout type de substrats (métaux ; plastiques ; résines ; céramiques ; etc...).
Onglet : Élaboration
Nom et prénom du responsable : Christian Petitot / Khalid Neffaa
Caractéristiques techniques : |
Applications : |
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Possibilité de réaliser des dépôts « double face » La machine possède 2 paires de cathodes en vis-à-vis. 5 cibles circulaires (diamètre 145 mm) alimentés par des générateurs de courant continu pulsé. Carrousel en simple rotation avec polarisation radio fréquence possible. Nom de l’outil : A 603 Fabricant : Alcatel Modèle : NC Salle : LM012 Hall Plateforme SURFACE UTBM Site de Montbéliard |
Dépôts PVD |