Alcatel A603

Nom de l’équipement : Alcatel A603

Utilisation : Réalisation de dépôt physique en phase vapeur

Application : Le dispositif ALCATEL SCM603 est une machine de dépôt physique en phase vapeur équipées de 5 magnétrons de 150 mm de diamètre. Cette configuration permet la synthèse de matériaux multicouches, sous forme de films minces, constitué de trois éléments métalliques ainsi que de métalloïde apporté sous forme gazeuse pendant la phase d’élaboration. Les matériaux développés dans ce réacteur sont dédiés à diverses applications.

Machine dédiée à de la prestation industrielle / Dépôts métalliques (or ; cuivre ; aluminium ; chrome ; etc…) sur tout type de substrats (métaux ; plastiques ; résines ; céramiques ; etc...).

Onglet : Élaboration

Nom et prénom du responsable : Christian Petitot / Khalid Neffaa

 

Caractéristiques techniques :

Applications :

Possibilité de réaliser des dépôts « double face »

La machine possède 2 paires de cathodes en vis-à-vis.

5 cibles circulaires (diamètre 145 mm) alimentés par des générateurs de courant continu pulsé.

Carrousel en simple rotation avec polarisation radio fréquence possible.

Nom de l’outil : A 603

Fabricant : Alcatel

Modèle : NC

Salle : LM012 Hall Plateforme SURFACE UTBM Site de Montbéliard

Dépôts PVD