Nom de l’équipement : BALZERS BAK600
Utilisation : Synthèse de film mince par l’emploi de générateur HIPIMS (High Power Impulse Magnetron Sputtering). Etude de l’influence des champs magnétiques des magnétrons
Application : Le dispositif BALZERS BAK600 est une machine de dépôt physique en phase vapeur équipée de deux magnétrons rectangulaires. Les magnétrons sont alimentés par générateur de nouvelle génération qui délivre des décharges impulsionnelles de forte puissance. Ce type de décharge permet d’avoir un plasma fortement ionisé qui induit des propriétés intéressantes sur les films élaborés. Les champs magnétiques des magnétrons sont ajustables par l’ajout ou la suppression d’aimant. Les matériaux élaborés sont des revêtements pour des sollicitations extrêmes tel que l’usinage grande vitesse sans lubrification, les alliages à haute entropie,…
Onglet : Élaboration
Nom et prénom du responsable : BILLARD Alain / NEFFAA Khalid
Utilisation : Synthèse de film mince par l’emploi de générateur HIPIMS (High Power Impulse Magnetron Sputtering). Etude de l’influence des champs magnétiques des magnétrons
Application : Le dispositif BALZERS BAK600 est une machine de dépôt physique en phase vapeur équipée de deux magnétrons rectangulaires. Les magnétrons sont alimentés par générateur de nouvelle génération qui délivre des décharges impulsionnelles de forte puissance. Ce type de décharge permet d’avoir un plasma fortement ionisé qui induit des propriétés intéressantes sur les films élaborés. Les champs magnétiques des magnétrons sont ajustables par l’ajout ou la suppression d’aimant. Les matériaux élaborés sont des revêtements pour des sollicitations extrêmes tel que l’usinage grande vitesse sans lubrification, les alliages à haute entropie,…
Onglet : Élaboration
Nom et prénom du responsable : BILLARD Alain / NEFFAA Khalid
Caractéristiques techniques : |
Applications : |
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2 cibles magnétrons rectangulaire 25*17,5 cm alimentées par des générateurs HIPIMS, Chambre de taille industrielle (» 1 m3), Porte échantillon rotatif et polarisable, Champs magnétique modifiable Nom de l’outil : BALZERS BAK600 Fabricant : Balzers Modèle : BAK600 Salle : LM012 Hall Plateforme SURFACE UTBM |
Applications mécaniques, Alliage à haute entropie, Influence des champs magnétique sur les revêtements |