Utilisation : Synthèse de revêtement par dépôt physique en phase vapeur
Application : Le dispositif ALCATEL SCM450 est une machine de dépôt physique en phase vapeur équipées de 3 magnétrons de 150 mm de diamètre. Cette configuration permet la synthèse de matériaux complexe, sous forme de films minces, constitué de trois éléments métalliques ainsi que de métalloïde apporté sous forme gazeuse pendant la phase d’élaboration. Il est possible d’augmenter le nombre d’élément dans un film par l’emploi de cible multiélément. Les matériaux développés dans ce réacteur sont dédiés à diverses applications tel que l’énergie, l’optique …
Onglet : Élaboration
Nom et prénom du responsable : BILLARD Alain / NEFFAA Khalid
Caractéristiques techniques : |
Applications : |
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3 cibles magnétron de 150 mm de diamètre alimenté par des générateurs de courant continu pulsé, Porte échantillon polarisable en simple rotation, Zone homogène des films sur un disque de 20 cm de diamètre, La rotation du porte échantillon est modifiable pour la synthèse d’empilement à l’échelle nanométrique Nom de l’outil : ALCATEL SCM450 Fabricant : ALCATEL Modèle : SCM 450 Salle : LM012 Hall Plateforme SURFACE UTBM Site de Montbéliard |
Films métalliques, céramiques, Empilement nanométrique Energie, alliage à haute entropies, optique, … |