Chambre de pulvérisation cathodique

Nom de l’équipement : chambre de pulvérisation cathodique couplée à une enceinte ultravide pour mesure de transmission et réflexion optique dans le domaine visible
Utilisation : cet équipement sert à élaborer des films minces nano-structurés à base de métaux, d’oxydes et de nitrures et de mesurer sous ultravide leurs propriétés optiques (indice de réfraction, constante diélectrique, gap optique …).
Application : Optique, opto-électronique
Onglet : Élaboration
Nom et prénom du responsable : Nicolas MARTIN

Caractéristiques techniques :

Applications :

Spécificité :
Cet équipement permet l’élaboration de films minces à base de métaux, de nitrures, d’oxydes suivi d’une détermination in situ et sous ultravide des propriétés optiques tels que l’indice de réfraction, la constante diélectrique dans le domaine visible via des mesures de transmission et réflexion.

Nom de l’outil : chambre de pulvérisation cathodique couplée à une enceinte ultravide pour mesure de transmission et réflexion optique dans le domaine visible
Fabricant : non applicable car outil conçu et fabriqué en interne
Modèle : non applicable car outil conçu et fabriqué en interne
Salle : RJ M2S 13 du bâtiment Temis Science @ Besançon

Comportement optique de films minces sous atmosphère réduite