Nom de l’équipement : ALCATEL SCM650
Utilisation : Synthèse de revêtement par dépôt physique en phase vapeur
Application : Le dispositif ALCATEL SCM650 est une machine de dépôt physique en phase vapeur équipées de 4 magnétrons de 200 mm de diamètre. Cette configuration permet la synthèse de matériaux complexe, sous forme de films minces, constitué de quatre éléments métalliques ainsi que de métalloïde apporté sous forme gazeuse pendant la phase d’élaboration. Il est possible d’augmenter le nombre d’élément dans un film par l’emploi de cible multiélément. Les matériaux développés dans ce réacteur sont dédiés à diverses applications tel que l’énergie, l’optique, la coloration…
Onglet : Élaboration
Nom et prénom du responsable : BILLARD Alain / NEFFAA Khalid
Caractéristiques techniques : |
Applications : |
|
- 4 cibles magnétron de 200 mm de diamètre alimentées par des générateurs de courant continu pulsé, - Porte échantillon polarisable en simple rotation, - Zone homogène des films sur un disque de 40 cm de diamètre, Système de régulation en boucle fermé afin d’obtenir des vitesses dépôts optimisées lors de l’élaboration de céramiques à partir de cibles métalliques Nom de l’outil : ALCATEL SCM650 Fabricant : ALCATEL Modèle : SCM 650 Salle : LM012 Hall Plateforme SURFACE UTBM Site de Montbéliard |
Films métalliques, Céramiques, Energie, Alliage à haute entropies, Optique, … |