Pôle micro-robotique

Compétences & savoir-faire

  • Assemblage 3D de microsystèmes entre 10µm et 1mm

  • Assemblage de puces fluidiques (positionnement relatif <1µm)

  • Assemblage actif de microsystèmes optiques (Michelson, Fabry-Perot)

  • Mesure de la répétabilité et de la justesse d'axes et de robots de micro et nanopositionnement (résolution <1nm <1µrad)

  • Conception de microsystèmes piezoélectriques

Équipements

  • Micro-manipulateur Smaract 6 ddl

  • Micro-manipulateurs Physics Instruments 5 ddl

  • Microscopes optiques 1x, 5x, 10x, 20x

  • Micro-dispenseur de colle UV

  • Microscope holographique LynceeTec DHM R2104

  • Hexapod MKS-Newport HXP50HA-MECA

  • Camera rapide Phantom Miro M310 8GB Mono

    Contacts

    Olivier Lehmann olivier.lehmann@femto-st.fr

    Cédric Clévy cedric.clevy@femto-st.fr

    Guillaume Laurent guillaume.laurent@femto-st.fr